黑科技进修手册_作者:木兮娘(235)

  他担忧盛明安看得太通透,容易对这世界失去兴趣。

  张群芳琢磨了会儿,没贸贸然说他的忧虑,而是转移话题:“还有xfel光源的科学大工程也提上日程,也标注了是你提出的方案。华科院那边提交这工程时,顺便提了一嘴你忙碌一年多的光刻机研发,上面多少留意到你们的革芯项目。”

  盛明安睁大眼,手指蜷起握成拳头,挺惊喜的问:“资金支持吗?”

  “……”张群芳:“有这么缺钱?”

  盛明安:“缺研发资金。”

  如果盛明安站在跟前,张群芳估计得对着他指指点点,他没好气的说:“只要是正儿八经搞科研的,有成果的,经费肯定会拨下来。”

  盛明安弯起眼:“谢谢教授。”

  张群芳:“没什么事我挂了。”

  盛明安:“教授再见。”

  通话结束,之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安,足见他们有多关心这棵天才苗子了。

  ***

  蓝河科技研发部,一尘不染的恒温实验室内,盛明安位于主位,身后是雷客、杜颂等人,他们都穿着白色防尘衣,攥紧拳头牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。

  组装、封装,启动激光器,紫色激光发射,击中模拟锡液滴,高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成光源,光源集中、传递至光刻系统,经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

  euv光源系统现实工作,激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次,而在仿真建模中,为方便观察,数据比例修改后变成肉眼可观测。

  仿真建模观测一小时后,放大雕刻后的晶片,宛如一个个充满未来感的城市。

  杜颂吞咽口水,紧张问:“怎么样?”

  雷客屏住呼吸:“仿真实验结果和当初预料结果一致,如无意外,方案可行。”

  身后传来一阵激动的欢呼声,不过很快压下来,众人纷纷看向没开口的盛明安,他才是实验室的主心骨,他点头了才算实验成功!

  但不可避免的,他们此刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼,紧张得几乎不能呼吸。

  无他,因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成果!

  无数日夜的数据优化、改进,从光源系统到光刻系统,从激光器到复杂的双工作台,从反射镜到晶圆等部件材料,海量的数据和磅礴的公式计算,一千多个日夜的心血全数系在这一刻!

  盛明安盯着右手边的光屏,那是光源优化仿真实验结果,结果表明优化后的光源图形和收敛曲线与预料一致,说明

  “方案可行。”

第66章 星晓[13] 红头文件。

  方案可行意味着他们研发高阶光刻机的方向是对的!

  不仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着他们可以组装出完整的高阶光刻机系统,包括仿真建模里,模拟出来的双工作台、反射镜等数据都可以应用!

  但现在不是高兴的时候,仿真建模只是高阶光刻机制造的第一步,接下来的设备组装、研制才是关键。

  光有设计图纸,没有适合的材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。

  雷客:“光源系统设备的研制需要专业顶级的工程师,蓝河科技恐怕人手不足。后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得上。”

  闻言,杜颂的笑容僵住:“还有资金和材料,光源系统设备材料不能用普通钢板,还有精度严格的反射镜怎么办?”

  这些问题一早就想到,那时盛明安让他们专心攻克光源系统,以至于直到现在用到了才开始发愁。

  林成建等人不由担忧,研发资金捉襟见肘,新材料倒是可以找华电科,就是不知道那些新材料是否符合标准。

  就算新材料符合标准,精度至皮米的反射镜目前国内没人造得出来。

  盛明安:“陈惊会解决这些问题。”

  科研人员只需负责研发工作就行。

  “好了,忙去吧。”盛明安挥挥手,赶走身后一群人。

  研发人员现在很兴奋,根本赶不走,围过来说:“盛工,我再看一眼这么复杂的光源系统真是我设计出来的?!”、“我觉得自己真tm是个天才!”、“脸还在吗?”

  ……

  众人叽叽喳喳凑到光屏前陶醉于光源系统的仿真建模,盛明安则悄悄退出,离开实验室,回到蓝河科技特意拨给他的办公室。

  十几分钟过后,办公室的门突然被撞开,陈惊喘着气跑进来,旋风似的冲到他桌前,两只手撑在红木桌,俯视盛明安,深呼吸:“建模能用?”